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荷兰新规所有DUV光刻机都禁止出口?ASML正式回应 每日热点

日期:2022-02-07 16:32:10  来源:快科技


(资料图片仅供参考)

7月1日消息,昨天有消息称,ASML旗下所有的DUV光刻机,出口都要被经过认可才可以。

对于这样的说法,也是引起了热议,不过ASML给出了回应。

ASML表示,出口管制条例只涉及部分最新DUV型号,包括TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统。EUV光刻机在此前已经受到限制,其他系统的发运未受管控。

此外,ASML还表示,上述规定是在9月1日才生效,而他们已经提交了许可申请。

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